微电子工业全球标准
本文件提供了应力程序、一般失效标准和文档指南,以便对dv/dt的稳健性进行演示、评估和记录。本文档给出了可以使用的测试设置和相应的测试条件的示例。此外,还解释了设备制造商可以选择适当的测试设置的标准。
委员会(s):jc - 70.2
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