微电子工业全球标准
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-965 - 11.2 (E)项
委员会(s):JC-11,jc - 11.2
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本文档描述了使用计算机控制仪器执行标准晶圆级电迁移加速测试(SWEAT)方法的算法。该算法需要单独的迭代技术(未提供)来计算给定目标失效时间的力电流。本文档没有指定在此过程中使用什么测试结构。然而,该算法的用户报告其有效性在直线和通孔端测试结构。在JESD87和ASTM 1259M - 96中提供了一些测试结构设计特征。
委员会(s):jc - 14.2