微电子工业全球标准
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本附录通过详细说明可能影响JESD35中描述的斜坡测试获得的测试结果的各种测量误差来源,扩展了标准35 (JESD35)的实用性。描述了每个误差来源,并指出了其对测试结构设计的影响。本附录可作为设计测试结构的指南,用于鉴定和表征薄氧化物的可靠性,特别是通过实施加速电压或电流斜坡试验。
委员会(s):jc - 14.2
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