微电子工业全球标准
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标题 | 文档# | 日期 |
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alpha源加速软错误率的试验方法 |
JESD89-2B | 2021年7月 |
本测试方法作为标准化程序提供,通过测量在器件被特征化的固体α源照射时的α粒子软错误率(SER)灵敏度来确定固态易失性存储器阵列和双稳逻辑元件(例如触发器)。 |
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波束加速软错误率的试验方法 |
JESD89-3B | 2021年9月 |
该测试用于测量固体易失性存储器阵列和双稳态逻辑元件(例如触发器)在已知通量的中子或质子束照射时的误差率,从而确定地球宇宙射线软误差率(SER)灵敏度。该加速试验的结果可用于估计给定地球宇宙射线辐射环境下的地球宇宙射线诱导SER。该试验不能用于预测α粒子诱导的SER。 委员会(s):jc - 14.1 |
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电子材料中的α辐射测量 |
JESD221 | 2011年5月 |
本标准一般适用于气体比例仪器及其在测量α发射率小于10的材料中的应用一个·khr1·厘米2.主要的焦点将是在半导体制造中使用的材料。本文件的目的是指定用于测量半导体制造中所用材料的α发射率的推荐方法。该方法特别适用于气体比例仪器,并指定推荐的仪器设置。此外,本方法还讨论了电离计数器的操作。该文件还推荐了确定样本量和准确评估仪器背景的方法。 |