微电子工业全球标准
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本标准描述了使用计算机控制仪器进行等温试验的算法。该测试的主要用途是用于监控晶圆级微电子金属化线(1)在工艺开发中,评估工艺选项,(2)在制造中,监控金属化可靠性,(3)监控/评估工艺设备。虽然它是作为一种快速WLR测试而开发的,但它也可以作为通过标准封装级电迁移测试获得的可靠性数据的有效补充工具。
委员会(s):JC-14,jc - 14.2
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