微电子工业全球标准
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本标准一般适用于气体比例仪器及其在测量α发射率小于10的材料中的应用一个·khr1·厘米-2.主要的焦点将是在半导体制造中使用的材料。本文件的目的是指定用于测量半导体制造中所用材料的α发射率的推荐方法。该方法特别适用于气体比例仪器,并指定推荐的仪器设置。此外,本方法还讨论了电离计数器的操作。该文件还推荐了确定样本量和准确评估仪器背景的方法。
委员会(s):JC-13,jc - 13.4
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