微电子工业全球标准
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本文件定义了恒压应力测试程序,用于表征集成电路技术中使用的薄栅极介质的随时间变化的介电击穿或“磨损”。该测试旨在获得在使用条件下估计氧化物寿命所需的电压和温度加速参数。测试程序包括复杂的技术,以检测超薄膜击穿,通常表现出大隧道电流和软或噪声击穿特性。本文档包括一个附件,讨论了测试结构设计,确定超薄膜中氧化物电场的方法,统计模型,外推模型,以及实例故障率计算
委员会(s):jc - 14.2,JC-14
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