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标题 | 文档# | 日期 |
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用阻挡材料进行铝铜金属化的可靠性评估的标准试验结构 |
JESD87 | 2001年7月 |
本文件描述了评估铝-铜,耐火金属屏障互连系统可靠性所需的测试结构的设计。这包括任何金属互连系统,其中耐火金属屏障或其他屏障材料阻止铝和/或铜金属离子在互连层之间流动。本文件不打算显示测试结构的设计,以评估铝或铝铜合金系统,没有阻碍铝和铜离子的运动,也不只是铜金属系统。一些全互连系统可能不包括所有金属层上的阻挡材料。本标准中的结构是为阻隔材料分离两个铝或铝合金金属层的情况而设计的。本文件的目的是描述测试结构的设计,以评估AlCu屏蔽金属系统的电迁移(EM)和应力诱导空洞(SIV)可靠性。 委员会(s):jc - 14.21,jc - 14.2 |