微电子工业全球标准
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标题 | 文档# | 日期 |
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alpha源加速软误差率的测试方法 |
JESD89-2B | 2021年7月 |
该测试方法是作为标准化程序提供的,用于通过测量器件被表征的固体阿尔法光源照射时的误差率来确定固态易失性存储器阵列和双稳态逻辑元件(例如触发器)的阿尔法粒子软误差率(SER)灵敏度。 |
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电子材料中的α辐射测量 |
JESD221 | 2011年5月 |
本标准一般适用于气体比例仪器及其在测量α发射率小于10的材料中的使用一个·khr-1·厘米-2.重点将放在半导体制造中使用的材料上。本文件的目的是指定在半导体制造中使用的材料中测量α发射率的推荐方法。该方法特别适用于气体比例仪表,并指定推荐的仪表设置。此外,该方法还讨论了电离计数器的操作。该文件还推荐了确定样本量和准确评估仪器背景的方法。 |